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晶圓缺陷檢測光學系統

簡要描述:Nanotronics nSpec LS晶圓缺陷檢測光學系統是研發和過程開發的理想系統。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且,隨著需求的發展,配方保存和修改也是非常方便的。

  • 產品型號:Nanotronics nSpec LS
  • 廠商性質:代理商
  • 產品資料:
  • 更新時間:2024-03-19
  • 訪  問  量: 2523

詳細介紹

  本產品主要是用于檢測晶圓表面的缺陷。是一套實用的晶圓缺陷檢測光學系統。無論用戶對樣品檢驗有什么具體要求,我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結果。
  nSpec LS是研發和過程開發的理想系統。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且,隨著需求的發展,配方保存和修改也是非常方便的。
  1. 半自動晶圓缺陷檢測功能
  ·基板,外延和圖案化晶圓
  ·透明和不透明的材料
  ·在膠片膠帶,托盤,凝膠包裝或蛋餅形包裝上模切
  ·光罩
  ·樣品碎片
  2. 系統特征
  ·多種分辨率設置,范圍從0.25 µm及更高
  ·快速掃描
  ·可定制的缺陷報告
  ·各種樣品夾頭可滿足特定需求
  ·對缺陷或感興趣的特征進行檢測和分類的魯棒分析
  ·檢查和審查程序
  ·多系統同步
  ·占地面積小,設施要求zui少
  ·機架安裝控件
  3. 系統參數
  重量:318 kg
  外觀尺寸(W x D x H):53 cm x 133 cm x 176 cm
  zui小氣壓:24 in. Hg (70 kPa)
  電源:110v/220v, 3.5 amps
  光學器件:
  照明模式:Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
  光源:白光LED(也可選其他)
  物鏡倍率:2.5, 5, 10, 20, 或50x,用戶可選
  工作臺:
  典型行程:200 mm,X和Y方向
  定位:帶有閉環編碼器的線性伺服電機(分辨率為50 nm)
  重復性:+/- 0.5 µm
  行程平整度:30 µm
  結構:精密地面滾道和交叉滾子軸承
  支撐平臺:顯微鏡/重型底座集成到隔離臺中
  中心負載能力:2.27 kg
  重量:11.33 kg
  尺寸(W x D x H):35 cm x 37 cm x 4 cm
  備選功能:
  AFM原子力顯微鏡:可根據要求提供規格
  SECS/GEM
  透射光
  自動傳送晶圓片


 

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