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全自動帶顯微鏡多點測量

簡要描述:FR-Mic 多層膜厚度測試儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案,可以將光斑縮小到幾個微米,進而分析微小區域或者粗糙表面薄膜特征。

  • 產品型號:FR-Mic
  • 廠商性質:代理商
  • 產品資料:
  • 更新時間:2024-03-19
  • 訪  問  量: 4419

詳細介紹

  FR-Mic多層膜厚度測試儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案,可以將光斑縮小到幾個微米,進而分析微小區域或者粗糙表面薄膜特征。它可以配備一臺專用計算機控 制的 XY 工作臺,使其快 速、方便和準確地描繪樣品的厚度和光學特性 。也可以搭配自動平臺測量 400x400mm 大小樣品。
  Thetametrisis利用 FR-Mic,通過紫外/ 可見/ 近紅外可輕易對局部區域薄膜厚度,厚度映射,光學常數,反射率,折射率及消光系數進行測量。
  【相關應用】
  高校 & 研究所實驗室
  半導體制造 (氧化物/氮化物, 硅膜, 光刻膠及其他半導體薄膜.)
  MEMS 器件 (光刻膠, 硅膜等.)
  LEDs, VCSELs 多層膜測量應用
  數據存儲
  陽極處理氧化膜
  曲面基底的硬化涂層
  聚合物膜層, 粘合劑.
  生 物醫學(聚對二甲苯, 生物膜/氣泡壁厚度.)
  OEM或客制化應用
  【特點】
  實時光譜測量
  薄膜厚度,光學特性,非均勻性測量, 厚度映射
  使用集成 USB 高品質彩色攝像機進行成像 (所視即所測)

【技術參數】


  *測量面積(收集反射或透射信號的面積)與顯微鏡物鏡和 FR-uProbe 的孔徑大小有關。
  【工作原理】


  1、規格如有更改,恕不另行通知;
  2、測量結果與校準的光譜橢偏儀和 XRD 相比較,
  3、連續 15 天測量的標準方差平均值。樣品:(1um SiO2 on Si.) ,
  4、100 次厚度測量的標準方差,樣品:1um SiO2 on Si.
  5、超過 15 天的標準偏差日平均值樣品:1um SiO2 on Si。
  6、使用反射式物鏡。





 

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