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全自動(dòng)帶顯微鏡多點(diǎn)測量

簡(jiǎn)要描述:FR-Mic 多層膜厚度測試儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案,可以將光斑縮小到幾個(gè)微米,進(jìn)而分析微小區域或者粗糙表面薄膜特征。

  • 產(chǎn)品型號:FR-Mic
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-03-19
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量: 4674

詳細介紹

  FR-Mic多層膜厚度測試儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案,可以將光斑縮小到幾個(gè)微米,進(jìn)而分析微小區域或者粗糙表面薄膜特征。它可以配備一臺專(zhuān)用計算機控 制的 XY 工作臺,使其快 速、方便和準確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性 。也可以搭配自動(dòng)平臺測量 400x400mm 大小樣品。
  Thetametrisis利用 FR-Mic,通過(guò)紫外/ 可見(jiàn)/ 近紅外可輕易對局部區域薄膜厚度,厚度映射,光學(xué)常數,反射率,折射率及消光系數進(jìn)行測量。
  【相關(guān)應用】
  高校 & 研究所實(shí)驗室
  半導體制造 (氧化物/氮化物, 硅膜, 光刻膠及其他半導體薄膜.)
  MEMS 器件 (光刻膠, 硅膜等.)
  LEDs, VCSELs 多層膜測量應用
  數據存儲
  陽(yáng)極處理氧化膜
  曲面基底的硬化涂層
  聚合物膜層, 粘合劑.
  生 物醫學(xué)(聚對二甲苯, 生物膜/氣泡壁厚度.)
  OEM或客制化應用
  【特點(diǎn)】
  實(shí)時(shí)光譜測量
  薄膜厚度,光學(xué)特性,非均勻性測量, 厚度映射
  使用集成 USB 高品質(zhì)彩色攝像機進(jìn)行成像 (所視即所測)

【技術(shù)參數】


  *測量面積(收集反射或透射信號的面積)與顯微鏡物鏡和 FR-uProbe 的孔徑大小有關(guān)。
  【工作原理】


  1、規格如有更改,恕不另行通知;
  2、測量結果與校準的光譜橢偏儀和 XRD 相比較,
  3、連續 15 天測量的標準方差平均值。樣品:(1um SiO2 on Si.) ,
  4、100 次厚度測量的標準方差,樣品:1um SiO2 on Si.
  5、超過(guò) 15 天的標準偏差日平均值樣品:1um SiO2 on Si。
  6、使用反射式物鏡。





 

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